SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面标准品

SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面(标准品)主要用于校准表面分析中的溅射深度标度和腐蚀速率。其周期性结构由八个定义明确的金属/金属界面组成，可用于在多个深度获得精确校准。 SRM 2135c 已通过总铬 (Cr) 和镍 (Ni) 厚度、单元素层间均匀性、Ni 和 Cr 双层均匀性（周期性）和单层厚度 [1-3] 的认证。以质量/面积为单位表示的认证厚度值在题为“认证值和不确定性”的部分中给出。

SRM 2135c 的一个单元由抛光的硅 (100) 基板上的九个交替金属薄膜层、五层纯铬和四层纯镍组成。各个层的厚度通常为 57 nm（Cr 为 57 nm，Ni 为 56 nm）。经认证的样品面积由基材的全宽（1.0 厘米）和以 2.54 厘米长的基材为中心的 2.0 厘米长度确定（见图 l）。

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